一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散深結(jié)制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010921289.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112164733A 公開（公告）日 2021-01-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN112164733A 申請(qǐng)公布日 2021-01-01
分類號(hào) H01L31/18;H01L31/0352 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙樹寶;張青;董洋 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山西潞陽(yáng)光伏科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 太原市科瑞達(dá)專利代理有限公司 代理人 山西潞陽(yáng)光伏科技有限公司
地址 046000 山西省長(zhǎng)治市郊區(qū)漳澤新型工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)領(lǐng)域。一種太陽(yáng)能電池?cái)U(kuò)散深結(jié)制備方法，步驟一、制備一層SiO2層；步驟二、通過(guò)兩次沉積在硅片表面制備恒定雜質(zhì)磷源；步驟三、將磷原子推進(jìn)至硅片內(nèi)，形成PN結(jié)；步驟四、進(jìn)行補(bǔ)擴(kuò)散；步驟五、制備后氧化層；步驟六、在硅片表面再次沉積雜質(zhì)磷源。步驟一前制備減反射絨面。本發(fā)明的有益效果是：在不改變整體方阻及工藝時(shí)間的情況下，有效增加PN結(jié)深和結(jié)區(qū)磷濃度差，提高電池片Uoc及FF，從而提高電池轉(zhuǎn)換效率。