一種太陽能電池擴散深結制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010921289.6 申請日 -
公開（公告）號 CN112164733A 公開（公告）日 2021-01-01
申請公布號 CN112164733A 申請公布日 2021-01-01
分類號 H01L31/18;H01L31/0352 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 趙樹寶;張青;董洋 申請（專利權）人 山西潞陽光伏科技有限公司
代理機構 太原市科瑞達專利代理有限公司 代理人 山西潞陽光伏科技有限公司
地址 046000 山西省長治市郊區(qū)漳澤新型工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及太陽能電池生產領域。一種太陽能電池擴散深結制備方法，步驟一、制備一層SiO2層；步驟二、通過兩次沉積在硅片表面制備恒定雜質磷源；步驟三、將磷原子推進至硅片內，形成PN結；步驟四、進行補擴散；步驟五、制備后氧化層；步驟六、在硅片表面再次沉積雜質磷源。步驟一前制備減反射絨面。本發(fā)明的有益效果是：在不改變整體方阻及工藝時間的情況下，有效增加PN結深和結區(qū)磷濃度差，提高電池片Uoc及FF，從而提高電池轉換效率。