一種溫度校準裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921304194.9 申請日 -
公開（公告）號 CN211170962U 公開（公告）日 2020-08-04
申請公布號 CN211170962U 申請公布日 2020-08-04
分類號 C30B25/16(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 李輝;朱金華;周國軍 申請（專利權）人 北京中科優(yōu)唯科技有限公司
代理機構 北京和信華成知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 北京中科優(yōu)唯科技有限公司
地址 100176北京市大興區(qū)經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)經(jīng)海五路58號院5號樓7層708室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本專利公開了一種溫度校準裝置，包括：真空腔室；所述腔室的頂部開設有觀察窗；測溫設備，設置在所述真空腔室頂部，所處測溫裝置包括溫度傳感器和反射率傳感器，所述溫度傳感器和反射率傳感器與所述觀察窗相對設置從而透過觀察窗觀察所述真空腔室內部的鍍鋁外延片；石墨基片托盤，設置在所述真空腔室中，所述鍍鋁外延片設置在所述石墨基片托盤之上，在所述石墨基片托盤的下端固定連接有旋轉軸與所述旋轉軸連接。通過設置上述旋轉的檢測方案檢測溫度和反射率從而得到準確的溫度校準數(shù)值。??