一種MOCVD裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011605274.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112609239A | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112609239A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號(hào) | C30B25/14(2006.01)I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 蔣國(guó)文;賈曉龍;崔志強(qiáng);孟錫俊;徐廣源;曾一平 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京中科優(yōu)唯科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京和信華成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張永輝 |
| 地址 | 100000北京市順義區(qū)中關(guān)村科技園區(qū)順義園臨空二路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種MOCVD裝置，包括氣流分布調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，氣流分布調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括：第一板，第一板包括由半徑劃分的多個(gè)第一區(qū)域和第二區(qū)域；第一區(qū)域內(nèi)設(shè)置至少一個(gè)第一通風(fēng)孔，第二區(qū)域內(nèi)設(shè)置至少一個(gè)第二通風(fēng)孔；由第一板中心徑向向外，第一區(qū)域的通風(fēng)面積逐漸增大，第二區(qū)域的通風(fēng)面積逐漸減?。坏诙?，第二板包括第三通風(fēng)孔和擋片，第二板相對(duì)于第一板在第一位置、第二位置之間轉(zhuǎn)動(dòng)；在第一位置，第三通風(fēng)孔與第一通風(fēng)孔連通，擋片擋住第二通風(fēng)孔；在第二位置，第三通風(fēng)孔與第二通風(fēng)孔連通，擋片擋住第一通風(fēng)孔。本發(fā)明的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能夠快速調(diào)節(jié)托盤徑向氣流分布，保證生長(zhǎng)材料的厚度均勻性。?? |
