一種獲得液體硅的方法及實(shí)現(xiàn)該方法的坩堝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610835100.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN106521629B 公開(kāi)(公告)日 2018-12-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN106521629B 申請(qǐng)公布日 2018-12-28
分類號(hào) C30B29/36;C30B9/10 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 朱燦;李斌;張亮 申請(qǐng)(專利權(quán))人 山東天岳晶體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 代理人 趙斌;苗峻
地址 250118 山東省濟(jì)南市槐蔭區(qū)美里湖美里路中段
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種獲得液體硅的方法及實(shí)現(xiàn)該方法的坩堝,該方法采用同步熔化助溶劑的方式獲得高碳溶解度的液體硅溶液,實(shí)現(xiàn)該方法的坩堝包括坩堝體,所述坩堝體內(nèi)壁上設(shè)置有凹槽,所述凹槽一端設(shè)置有擋板,所述凹槽末端底部均勻設(shè)置有小細(xì)孔;采用這種方法和相應(yīng)結(jié)構(gòu)的坩堝,可以解決制備碳化硅過(guò)程中助溶劑熔點(diǎn)不同導(dǎo)致熔化不同步的問(wèn)題,使熔化的區(qū)間縮短,形成固定化學(xué)配比的液態(tài)硅溶液,提高碳的溶解度,保證晶體的快速生長(zhǎng)。