一種液相生長(zhǎng)碳化硅的籽晶軸及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610505971.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106012021B 公開(kāi)（公告）日 2019-04-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN106012021B 申請(qǐng)公布日 2019-04-12
分類號(hào) C30B29/36;C30B15/32 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 朱燦;王曉;宋建;李斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東天岳晶體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南千慧專利事務(wù)所（普通合伙企業(yè)） 代理人 吳紹群
地址 250100 山東省濟(jì)南市高新區(qū)新宇路西側(cè)世紀(jì)財(cái)富中心AB座1106-6-01
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種液相生長(zhǎng)碳化硅的籽晶軸及方法，屬于碳化硅生長(zhǎng)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明所述的籽晶軸包括石墨軸，在石墨軸的下端連接有石墨軸帽；所述的石墨軸帽為中空結(jié)構(gòu)。本發(fā)明解決了傳統(tǒng)生長(zhǎng)方法高速生長(zhǎng)帶來(lái)的多型、包裹體和應(yīng)力等問(wèn)題，可方便的調(diào)控溫度梯度，使晶體既保證生長(zhǎng)速度的同時(shí)，又能保證晶體質(zhì)量。