一種表面形貌測量裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110481723.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113188473A 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN113188473A 申請公布日 2021-07-30
分類號 G01B11/24（2006.01）I;G01B11/06（2006.01）I;G06T3/40（2006.01）I;G06T5/00（2006.01）I;G06T7/00（2017.01）I;G06T7/11（2017.01）I;G06T7/55（2017.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 杜艷偉;鄭軍 申請（專利權）人 聚時科技（上海）有限公司
代理機構 湖北天領艾匹律師事務所 代理人 胡振宇
地址 200000上海市楊浦區(qū)楊樹浦路2300號3B層B02-59室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及芯片表面測量技術領域，公開了一種表面形貌測量裝置及方法，包括光源單元、分束裝置、探測裝置和運動臺，運動臺與探測裝置之間還設置有檢測臺，待檢測樣品放置于檢測臺，運動臺帶動探測裝置或者檢測臺使二者之間產(chǎn)生相對運動；分束裝置接收待檢測樣品的反射光束的光軸與運動平臺的法線之間存在夾角θ，通過所拍攝圖像前后存在的重疊區(qū)域的清晰程度來評估所拍攝圖片的離焦量，通過離焦量計算樣品表面的立體高度信息，得到大大超出分束裝置實際景深的組合圖像，用于對樣品表面形貌詳細檢測。通過分束裝置與運動臺的傾斜配置和配合，可以實現(xiàn)尺寸大、高度變化范圍大的待測樣品的表面形貌3D測量和檢測，提高了檢測效率。