一種OLEDarray制程用正性光刻膠

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010306398.7 申請日 -
公開（公告）號 CN111381445A 公開（公告）日 2020-07-07
申請公布號 CN111381445A 申請公布日 2020-07-07
分類號 G03F7/039(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 卞玉桂;張兵;向文勝;趙建龍;陳小華;朱坤;陸蘭;顧群艷 申請（專利權(quán)）人 艾森半導(dǎo)體材料（南通）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 艾森半導(dǎo)體材料（南通）有限公司
地址 226000江蘇省南通市崇川區(qū)南通市開發(fā)區(qū)星湖大道1692號21(22)幢12217室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種OLED array制程用正性光刻膠，其包括混合酚醛樹脂、光敏劑、溶劑、劑添加、流平劑；所述混合酚醛樹脂包括2,4?二甲基苯酚占比60～70％、3,5?二甲基苯酚占比10～30％、2,6?二甲基苯酚占比10～30％，所述2,4?二甲基苯酚的分子量為3000～4000，所述3,5?二甲基苯酚的分子量為2000～3000；所述光敏劑的結(jié)構(gòu)式為：其中，R1、R2、R3、R4、R5、R6為C1～C6直鏈或支鏈烷基、C1～C6甲氧基、C1～C6乙氧基、羧基、羥基、氧代、芳香基、硝基中的一種或多種；A、B是獨(dú)立的包含甲氧基、乙氧基、氧原子、C1～C6直鏈或支鏈烷基中的一種或多種混合物。本發(fā)明在不改變光刻膠在尺寸面板上的其他性能的前提下，大大提高了光刻膠的分辨率和感度。??