一種正性光敏聚酰亞胺樹脂及其制備方法
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201911191928.1 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN111393643A | 公開（公告）日 | 2020-07-10 |
| 申請公布號 | CN111393643A | 申請公布日 | 2020-07-10 |
| 分類號 | C08G73/10(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 向文勝;徐楠;張兵 | 申請（專利權(quán)）人 | 艾森半導(dǎo)體材料（南通）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 艾森半導(dǎo)體材料（南通）有限公司 |
| 地址 | 226000江蘇省南通市崇川區(qū)南通市開發(fā)區(qū)星湖大道1692號21(22)幢12217室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種正性光敏聚酰亞胺樹脂及其制備方法，其化學(xué)結(jié)構(gòu)式如下：其中Ar1是二酐單體，Ar2是二胺單體，x＝0.2～1，n＝5～200。本發(fā)明光敏聚酰亞胺樹脂制備工藝簡單、反應(yīng)條件溫和、易放大生產(chǎn)；由于在樹脂制備過程中已經(jīng)完全亞胺化，因此，光刻圖形不需高溫固化處理，光敏樹脂也無須低溫保存，而光敏樹脂結(jié)構(gòu)中的羧基使得其可以在堿性水溶液中顯影，對環(huán)境友好。由該光敏聚酰亞胺樹脂所制備的光刻膠具有留膜率和對比度高、固化溫度低、圖形分辨率、可室溫保存等優(yōu)點。?? |
