一種多晶硅反應(yīng)器沉積載體

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122333856.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215668290U 公開（公告）日 2022-01-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN215668290U 申請(qǐng)公布日 2022-01-28
分類號(hào) C30B28/14（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 郭榮;徐巖;曹得財(cái);陳文凱;張藝鐘 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 陜西有色天宏瑞科硅材料有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 張一軍;李陽
地址 719208陜西省榆林市佳縣工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種多晶硅反應(yīng)器沉積載體，包括橋架和兩根硅芯；其中，所述橋架兩端分別設(shè)置有鉆孔，并且在每個(gè)鉆孔所在端部的頂端設(shè)置倒角；所述硅芯的一端部呈錐形，并且兩根硅芯分別通過呈錐形的端部搭接至所述橋架兩端的鉆孔中。該實(shí)施方式能夠解決多晶硅生產(chǎn)成品率低的問題。