一種硅烷卸載系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121081378.0 申請日 -
公開（公告）號 CN215674737U 公開（公告）日 2022-01-28
申請公布號 CN215674737U 申請公布日 2022-01-28
分類號 F17C5/06（2006.01）I;F17C7/02（2006.01）I;F17C13/00（2006.01）I;F17C13/02（2006.01）I;F17D1/04（2006.01）I;F17D1/08（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I;F17D5/00（2006.01）I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 常璟春;徐巖;陳曉冬;尚明達;劉思遠;蘭天鵬;李夢東 申請（專利權(quán)）人 陜西有色天宏瑞科硅材料有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 中原信達知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 張一軍;李陽
地址 719208陜西省榆林市榆佳工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種硅烷卸載系統(tǒng)，包括硅烷加壓裝置、硅烷儲罐以及與所述硅烷儲罐配套的冷凝器和蒸發(fā)器；其中，外購硅烷槽車通過管線將硅烷氣輸送至硅烷加壓裝置進行處理，處理后的硅烷氣輸送至硅烷儲罐儲存；待下游調(diào)試或生成時，通過所述硅烷儲罐配套的冷凝器和蒸發(fā)器對硅烷氣分別進行冷凝和升壓，直至外購硅烷槽車內(nèi)氣壓與所述硅烷儲罐內(nèi)的氣壓一致或所述硅烷儲罐液位保持不變，完成硅烷卸載。該實施方式能夠解決現(xiàn)有沒有專門應(yīng)用于硅烷卸載處理的問題。