一種氣體中微量雜質(zhì)分析裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510318727.9 申請日 -
公開（公告）號 CN104931615B 公開（公告）日 2018-03-23
申請公布號 CN104931615B 申請公布日 2018-03-23
分類號 G01N30/02 分類 測量；測試;
發(fā)明人 閆云;劉曉林;董云峰;代偉娜;許東海;黃國慶;陳歡;石晶;李曉昆 申請（專利權(quán)）人 中國船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所
代理機(jī)構(gòu) 北京理工大學(xué)專利中心 代理人 中國船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所;中船重工（邯鄲）派瑞特種氣體有限公司
地址 056027 河北省邯鄲市展覽路17號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種氣體中微量雜質(zhì)分析裝置及方法，屬于氣相色譜分析領(lǐng)域。所述裝置包括：切換閥Ⅰ、切換閥Ⅱ、切換閥Ⅲ、切換閥Ⅳ，以及載氣Ⅰ、載氣Ⅱ、載氣Ⅲ和載氣Ⅳ四路載氣氣路；其中，切換閥Ⅰ上設(shè)有兩個定量管，分別為定量管I和定量管II；切換閥Ⅰ和切換閥Ⅱ之間設(shè)有第一分子篩柱，在切換閥Ⅲ和切換閥Ⅳ之間設(shè)有第二分子篩柱，在切換閥Ⅰ和切換閥Ⅳ之間設(shè)有Porapak Q柱，在切換閥Ⅲ上設(shè)有脫氧柱和三通轉(zhuǎn)換閥。本發(fā)明還提供了一種氣體中微量雜質(zhì)分析方法，只需一次進(jìn)樣的即可完成所有微量雜質(zhì)的分析，能夠分析包括氧氣在內(nèi)的多種高純氣、超純氣及其混合氣中的微量雜質(zhì)，節(jié)約分析成本，簡化進(jìn)樣操作，加快分析速度。