一種四氟化硅的純化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510979404.4 申請日 -
公開（公告）號 CN105565324B 公開（公告）日 2019-01-04
申請公布號 CN105565324B 申請公布日 2019-01-04
分類號 C01B33/107 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 蔣玉貴;孟祥軍;李翔宇;董云海;喬蓓蓓;沙婷;楊慶平 申請（專利權(quán)）人 中國船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所
代理機(jī)構(gòu) 北京理工大學(xué)專利中心 代理人 中國船舶重工集團(tuán)公司第七一八研究所
地址 056027 河北省邯鄲市展覽路17號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種四氟化硅的純化方法，屬于氟化工、電子工業(yè)氣體領(lǐng)域。所述方法為：將四氟化硅粗品氣與純化反應(yīng)物1進(jìn)行純化反應(yīng)，得到的產(chǎn)物通過冷阱收集，得到純化的四氟化硅氣體；純化反應(yīng)物1為含有氟原子和/或含氯原子的物質(zhì)；四氟化硅粗品氣與純化反應(yīng)物1進(jìn)行純化反應(yīng)的溫度為?199℃～1999℃，當(dāng)純化反應(yīng)物1為F2時(shí)，溫度為?199℃～99℃；四氟化硅粗品氣與純化反應(yīng)物1進(jìn)行純化反應(yīng)的壓力為?0.09MPa～2MPa。純化的四氟化硅氣體還可進(jìn)一步與純化反應(yīng)物2進(jìn)行純化反應(yīng)，獲得純度更高的四氟化硅。所述方法容易獲得高純度的四氟化硅，產(chǎn)率和安全性高，成本低。