具有實(shí)時(shí)原位檢測(cè)功能的增材制造裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110378288.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113092508A 公開（公告）日 2021-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN113092508A 申請(qǐng)公布日 2021-07-09
分類號(hào) G01N23/2206（2018.01）I;G01N23/2251（2018.01）I;G01N23/203（2006.01）I;B33Y50/02（2015.01）I;B22F3/105（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 林峰;趙德陳;張磊;郭超;馬旭龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 天津清研智束科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京方圓嘉禾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 馮靜
地址 100084北京市海淀區(qū)清華園1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有實(shí)時(shí)原位檢測(cè)功能的增材制造裝置，增材制造裝置利用二次電子逐層檢測(cè)成形件質(zhì)量，其中，增材制造裝置包括：成形區(qū)域、電子束發(fā)射聚焦掃描裝置、二次電子采集裝置和控制器。所述控制器控制所述電子束發(fā)射聚焦掃描裝置對(duì)所述成形區(qū)域進(jìn)行掃描，同時(shí)控制所述二次電子采集裝置采集電子束掃描過(guò)程中的二次電子信號(hào)和電子束偏轉(zhuǎn)信號(hào)，并對(duì)信號(hào)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理生成圖像、分析成形質(zhì)量和進(jìn)行工藝反饋控制。本發(fā)明實(shí)施例的增材制造裝置可以實(shí)時(shí)對(duì)電子束選區(qū)熔化熔融層和粉末床質(zhì)量進(jìn)行監(jiān)測(cè)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)和識(shí)別缺陷并進(jìn)行修復(fù)，提高電子束選區(qū)熔化工藝的良品率和有效避免打印異常造成的材料和時(shí)間的浪費(fèi)。