一種氣相沉積爐用陶瓷熱電偶與剛玉陶瓷護管間防黏連方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110420410.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113125027A 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN113125027A 申請公布日 2021-07-16
分類號 G01K7/02;G01K1/08 分類 測量；測試;
發(fā)明人 俞雄俊 申請（專利權）人 福建康碳復合材料科技有限公司
代理機構 上海新隆知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 金利琴
地址 365000 福建省三明市永安市貢川鎮(zhèn)水東園區(qū)21號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種氣相沉積爐用陶瓷熱電偶與剛玉陶瓷護管間防黏連方法，包括以下步驟：材料準備：耐高溫陶瓷熱電偶一支，剛玉陶瓷護管一支，氮化硼溶液1～2L，碳纖維絲束約5米長和碳氈片；陶瓷熱電偶與剛玉陶瓷護管表面用氮化硼溶液處理；對碳纖維絲束預處理；將碳纖維絲束捆裹熱電偶本體及剛玉陶瓷護管；將捆裹好的陶瓷熱電偶本體與剛玉陶瓷護管組裝，將碳氈片塞進護管，組裝完成。本發(fā)明可以有效地延長陶瓷熱電偶在氣相沉積爐內的使用壽命，減少更換熱電偶頻次，提高生產效率。