一種分析電子級混合氣組分含量的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621037024.5 申請日 -
公開（公告）號 CN205982240U 公開（公告）日 2017-02-22
申請公布號 CN205982240U 申請公布日 2017-02-22
分類號 G01N33/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李平;沈棟;韓瓊 申請（專利權(quán)）人 梅塞爾特種氣體（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 梅塞爾特種氣體（蘇州）有限公司
地址 215220 江蘇省蘇州市吳江經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)南村路158號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種分析電子級混合氣組分含量的裝置，包括：取樣管路、吹掃管路、抽真空管路以及檢測機(jī)構(gòu)，取樣管路具有連接電子級混合氣氣源的連接口，吹掃管路、抽真空管路以及檢測機(jī)構(gòu)分別與取樣管路相連通；抽真空管路包括抽吸機(jī)構(gòu)、氣體抽真空管路，氣體抽真空管路連接在取樣管路連接檢測機(jī)構(gòu)的上游。本實(shí)用新型使樣品氣徹底隔絕空氣，不會與空氣接觸自燃，避免事故發(fā)生；樣品氣不會與空氣接觸，不會反應(yīng)產(chǎn)生固體顆粒損壞系統(tǒng)部件；有效排除了空氣稀釋的干擾，組分含量分析不受影響；樣品氣不與空氣接觸，不會發(fā)生反應(yīng)，組分含量完全保留；分析系統(tǒng)有真空裝置，分析速度快，減少了樣品氣用量。