一種用于碳化硅晶體生長(zhǎng)用的風(fēng)冷箱結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202220525283.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN216891320U | 公開（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216891320U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-05 |
| 分類號(hào) | C30B23/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 章磊;李有群;賀賢漢;董志勇;吳寒;顧雪龍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 安徽微芯長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 銅陵市天成專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 244000安徽省銅陵市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)西湖三路 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種用于碳化硅晶體生長(zhǎng)用的風(fēng)冷箱結(jié)構(gòu)，包括箱體，所述箱體的頂端鉸接有蓋體，且箱體的一側(cè)外壁設(shè)置有散熱窗口，并且箱體的另一側(cè)外壁安裝有風(fēng)扇，所述箱體的內(nèi)壁固定設(shè)置有六組固定板，兩個(gè)所述固定板的內(nèi)側(cè)設(shè)置有用以夾持的夾持組件，且兩個(gè)所述固定板的內(nèi)側(cè)設(shè)置有限位組件，所述限位組件用以對(duì)所述夾持組件定位，所述箱體的內(nèi)部設(shè)置有與其滑動(dòng)配合的支撐板，該一種用于碳化硅晶體生長(zhǎng)用的風(fēng)冷箱結(jié)構(gòu)，通過多組第一夾板與第二夾板在固定架內(nèi)活動(dòng)，方便對(duì)不同直徑的坩堝進(jìn)行夾持隔開，且通過雙向絲桿帶動(dòng)壓板壓緊進(jìn)行第一夾板和第二夾板的擠壓，從而將多個(gè)坩堝豎直隔開放置，提高散熱效果。 |
