一種碳化硅產(chǎn)生用的籽晶片粘合裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123033086.2 申請日 -
公開（公告）號 CN216634944U 公開（公告）日 2022-05-31
申請公布號 CN216634944U 申請公布日 2022-05-31
分類號 B28D5/00（2006.01）I;B28D7/00（2006.01）I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 李有群;高攀;賀賢漢;章磊;周杰;孫大方 申請（專利權(quán)）人 安徽微芯長江半導體材料有限公司
代理機構(gòu) 銅陵市天成專利事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 244000安徽省銅陵市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)西湖三路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及碳化硅技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種碳化硅產(chǎn)生用的籽晶片粘合裝置，包括機體和固定安裝在機體內(nèi)側(cè)的收集箱，還包括旋轉(zhuǎn)支撐機構(gòu)、夾持機構(gòu)、下壓機構(gòu)、上膠機構(gòu)、刮膠機構(gòu)和刮平機構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)支撐機構(gòu)固定安裝在收集箱內(nèi)部，本實用新型通過設(shè)置有刮膠機構(gòu)和刮平機構(gòu)，當膠水滴落在晶片頂部，打開電動升降套桿使電動升降套桿帶動刮板上下移動至合適高度，使刮板與晶片之間保持合適的間距，再打開絲桿滑臺使絲桿滑臺的滑動塊帶動刮板進行移動，使刮板將晶片頂部的膠水進行刮平，使膠水可以更加均勻的鋪設(shè)在晶片的頂部，膠水的分布更加的均勻，可以有效的防止在粘合過程中產(chǎn)生氣泡，導致后續(xù)籽晶片的脫落，有效的提升了裝置的粘合效果。