一種碳化硅晶片用陶瓷盤的平面度修復(fù)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202123111341.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN216657519U 公開(kāi)（公告）日 2022-06-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN216657519U 申請(qǐng)公布日 2022-06-03
分類號(hào) B24B29/02（2006.01）I;B24B27/00（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B41/02（2006.01）I;B24B47/12（2006.01）I;B24B47/16（2006.01）I;B24B47/22（2006.01）I;B24B49/12（2006.01）I;B24B47/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 李有群;陳輝;賀賢漢;卓世異;孫大方 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽微芯長(zhǎng)江半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 銅陵市天成專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 244000安徽省銅陵市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)西湖三路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及碳化硅晶片技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種碳化硅晶片用陶瓷盤的平面度修復(fù)裝置，包括底座，還包括調(diào)節(jié)支撐機(jī)構(gòu)、固定旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、拋光修復(fù)機(jī)構(gòu)、拋光液上料機(jī)構(gòu)和檢測(cè)觀察機(jī)構(gòu)，所述調(diào)節(jié)支撐機(jī)構(gòu)固定安裝在底座頂部，本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置有拋光修復(fù)機(jī)構(gòu)和固定旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，將拋光頭固定安裝在轉(zhuǎn)軸底部，將陶瓷盤固定安裝在固定架頂部，再打開(kāi)轉(zhuǎn)臺(tái)使轉(zhuǎn)臺(tái)帶動(dòng)陶瓷盤進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，使陶瓷盤頂部的放置槽與拋光頭一一對(duì)應(yīng)，再打開(kāi)推桿使推桿帶動(dòng)安裝板向下移動(dòng)，直至拋光頭與陶瓷盤頂部的放置槽相接觸，再打開(kāi)伺服電機(jī)使伺服電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸和拋光頭進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而使拋光頭對(duì)放置槽內(nèi)部進(jìn)行拋光修復(fù)，可以對(duì)陶瓷盤的修復(fù)更加的精準(zhǔn)。