一種用于碳化硅晶片的檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220525374.5 申請日 -
公開（公告）號 CN216978810U 公開（公告）日 2022-07-15
申請公布號 CN216978810U 申請公布日 2022-07-15
分類號 G01N21/01（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 李有群;賀賢漢;章磊;盧晨;顧雪龍 申請（專利權(quán)）人 安徽微芯長江半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 銅陵市天成專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 244000安徽省銅陵市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)西湖三路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于碳化硅晶片檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種用于碳化硅晶片的檢測裝置，包括底座和連接架，所述底座的上端設(shè)置有安裝架，所述安裝架的上端設(shè)置有絲桿滑臺，所述連接架設(shè)置在絲桿滑臺的滑塊之間，所述連接架的兩端固定連接有固定桿，所述固定桿的內(nèi)端貫穿有與其相匹配的轉(zhuǎn)軸，固定桿通過轉(zhuǎn)軸鉸接有連接桿，所述連接桿的端頭處固定連接有掃描檢測儀。該用于碳化硅晶片的檢測裝置，結(jié)構(gòu)合理，操作便捷，便于對檢測儀檢測角度進(jìn)行調(diào)節(jié)，使其檢測范圍縮減，提高檢測質(zhì)量，而且通過傳感器傳導(dǎo)數(shù)據(jù)實時查看，增加了使用的靈活性。