一種用于碳化硅晶片退火的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202123066641.1 申請日 -
公開（公告）號 CN216902811U 公開（公告）日 2022-07-05
申請公布號 CN216902811U 申請公布日 2022-07-05
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/324（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 賀賢漢;高攀;李有群;周杰;章磊;孫大方 申請（專利權(quán)）人 安徽微芯長江半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 銅陵市天成專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 244000安徽省銅陵市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)西湖三路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及碳化硅晶片技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于碳化硅晶片退火的裝置，包括：固定底座，固定底座的頂端固定連接有反應(yīng)倉；循環(huán)結(jié)構(gòu)，反應(yīng)倉的一端固定連接有循環(huán)結(jié)構(gòu)，且循環(huán)結(jié)構(gòu)包括傳動電機(jī)；增壓結(jié)構(gòu)，反應(yīng)倉內(nèi)部靠近循環(huán)結(jié)構(gòu)的一端固定連接有增壓結(jié)構(gòu)，且增壓結(jié)構(gòu)包括連接底板；啟閉結(jié)構(gòu)，反應(yīng)倉遠(yuǎn)離循環(huán)結(jié)構(gòu)的一端固定連接有觀察窗，反應(yīng)倉一端的底端設(shè)有儲料倉，且儲料倉和反應(yīng)倉的連接處固定連接有啟閉結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型通過增壓結(jié)構(gòu)便于均勻穩(wěn)定的退火，退火的原理是通過加熱材料后降溫從而達(dá)到精煉材料的效果，降溫的方式有多種，傳統(tǒng)的風(fēng)冷和密封隔絕空氣使其自然冷卻的方式存在安全隱患。