一種便于裝載的晶圓裝載支架

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120177890.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214313172U 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN214313172U 申請公布日 2021-09-28
分類號 H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鄭東來;繆小波;卞志佳 申請（專利權(quán)）人 江蘇嘉兆電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 226100江蘇省南通市海門區(qū)臨江鎮(zhèn)洞庭湖路100號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種便于裝載的晶圓裝載支架，包括本體和固定底板，還包括能夠?qū)y距儀進(jìn)行防護(hù)的防護(hù)結(jié)構(gòu)、增加安裝穩(wěn)定性的安裝結(jié)構(gòu)和能夠便于裝載晶圓的夾持結(jié)構(gòu)，所述固定底板頂端的一側(cè)安裝有本體，且固定底板頂端的另一側(cè)安裝有安裝盒，所述安裝盒頂端的中間位置處安裝有驅(qū)動電機(jī)，且安裝盒的內(nèi)部安裝有螺紋桿。本實(shí)用新型通過安裝有支撐桿和超聲波測距儀，當(dāng)放置板在下降時(shí)會對活動板施加壓力，使活動板底端的復(fù)位彈簧受力并縮短長度，而鉸接桿角度發(fā)生改變并推動連接塊向一側(cè)移動，連接塊在移動的過程中能夠推動支撐桿左右移動，當(dāng)支撐桿向兩側(cè)移動到極限時(shí)，放置板無法繼續(xù)下降，從而實(shí)現(xiàn)對超聲波測距儀的保護(hù)。