一種晶圓動態(tài)測試治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922445385.3 申請日 -
公開（公告）號 CN211589854U 公開（公告）日 2020-09-29
申請公布號 CN211589854U 申請公布日 2020-09-29
分類號 B25B11/00(2006.01)I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設(shè)備；機械手;
發(fā)明人 鄭東來;繆小波 申請（專利權(quán)）人 江蘇嘉兆電子有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 226100江蘇省南通市海門市臨江鎮(zhèn)洞庭湖路100號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓動態(tài)測試治具，包括測試臺、吸盤座、移動槽、導(dǎo)塊、定位柱、氣缸、推板、斜板、復(fù)位彈簧、活塞頭、推桿、活塞筒和連塊，所述測試臺頂面等距安裝有吸盤座，且吸盤座底口連接固定有活塞筒，所述測試臺內(nèi)部位于吸盤座對應(yīng)位置安裝有氣缸，且氣缸輸出端固定有推桿，所述活塞筒內(nèi)配合設(shè)有活塞頭，且推桿與活塞頭固定連接，所述測試臺表面位于吸盤座側(cè)邊對稱開設(shè)有四個移動槽，且移動槽內(nèi)滑動卡接有導(dǎo)塊，此晶圓動態(tài)測試治具通過氣缸的驅(qū)動，配合斜面推動使定位柱推動晶圓聚中，實現(xiàn)精準放置，配合活塞頭的收縮使吸盤座對晶圓穩(wěn)定吸附固定，裝置結(jié)構(gòu)簡單，晶圓定位精確穩(wěn)定，提高晶圓檢測的穩(wěn)定性。??