一種帶有監(jiān)測(cè)機(jī)構(gòu)的晶圓裝載支架
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922457929.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211017036U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-07-14 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211017036U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-07-14 |
| 分類號(hào) | H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 繆小波;鄭東來(lái) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇嘉兆電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226100江蘇省南通市海門(mén)市臨江鎮(zhèn)洞庭湖路100號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種帶有監(jiān)測(cè)機(jī)構(gòu)的晶圓裝載支架，包括裝載筒、承載板、大通槽、同步器、擋邊塊、絲杠、電機(jī)、超聲波測(cè)距儀和支板，所述裝載筒內(nèi)部設(shè)有承載板，所述裝載筒側(cè)邊開(kāi)設(shè)有大通槽，所述裝載筒外部頂端位于大通槽對(duì)應(yīng)位置轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有絲杠，所述裝載筒外壁位于絲杠頂端固定有支板，且支板端部安裝有電機(jī)，且電機(jī)通過(guò)同步器與絲杠傳動(dòng)連接，所述承載板穿過(guò)大通槽與絲杠嚙合連接，所述裝載筒內(nèi)壁對(duì)稱固定有擋邊塊，且擋邊塊頂端呈斜面狀，此晶圓裝載支架可對(duì)晶圓穩(wěn)定疊加裝載，通過(guò)絲杠的驅(qū)動(dòng)承載板升降，配合超聲波測(cè)距儀的距離檢測(cè)可穩(wěn)定上移供料，便于后期加工的供料。?? |
