一種高純多晶硅的生產方法及生產裝備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200910158901.2 申請日 -
公開（公告）號 CN101602506A 公開（公告）日 2009-12-16
申請公布號 CN101602506A 申請公布日 2009-12-16
分類號 C01B33/037(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 無機化學;
發(fā)明人 張洪平;王冬 申請（專利權）人 沈陽三特真空科技有限公司
代理機構 北京邦信陽專利商標代理有限公司 代理人 錦州市三特真空冶金技術工業(yè)有限公司;沈陽三特真空科技有限公司
地址 121003遼寧省錦州市太和區(qū)錦義街66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種高純多晶硅的生產方法以及利用該生產方法生產高純多晶硅的生產裝備，其中所述的生產方法包括如下步驟：硅料準備、熔煉包裝料、硅料熔煉、除渣、熔融硅精煉、硅液擋渣澆鑄、硅液真空脫氣與定向凝固、硅錠出爐和去皮切割，其中，所述硅料準備步驟中所使用的硅料為冶金級還原硅，在所述硅料熔煉步驟中采用的加熱方式包括化學燃燒加熱。所述生產裝備包括至少三個以上相同的用于熔煉包或精煉包的包結構，其中一個包用于熔煉操作中，一個包用于精煉操作中，一個包用于修補、預熱或裝料操作中。采用本發(fā)明的生產方法和裝備，可以大規(guī)模、低成本地生產高純多晶硅。