一種具有泄壓功能的石英真空吸附裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110088218.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112922952A 公開（公告）日 2021-06-08
申請公布號 CN112922952A 申請公布日 2021-06-08
分類號 F16B47/00;F17D1/04;F17D1/065;F17D3/01;F17D5/00 分類 工程元件或部件；為產生和保持機器或設備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 胡龍輝 申請（專利權）人 寧波云德半導體材料有限公司
代理機構 杭州五洲普華專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 侯申飛
地址 315336 浙江省寧波市杭州灣新區(qū)華軒路161號數字經濟產業(yè)園28棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具有泄壓功能的石英真空吸附裝置，包括真空吸盤、進氣管、吹氣管、三通接頭、四通接頭和若干連接管，真空吸盤上設有氣孔，所述真空吸盤上設有環(huán)形凹槽，所述氣孔位于環(huán)形凹槽內，所述真空吸盤外壁對應氣孔位置處設有與氣孔相連通的接頭，所述進氣管上設有真空發(fā)生器和吸氣控制開關，所述進氣管和吹氣管均與氣泵相連，吹氣管上設有吹氣泄壓控制開關，所述四通接頭的四個連接端口均可拆卸連接有連接管，且其中三根連接管分別與相應的接頭可拆卸連接，所述三通接頭分別與進氣管、吹氣管和其中一根所述的連接管可拆卸相連。本發(fā)明具有通過吹氣有效泄壓便于石英產品的拿取，拆裝維護更換方便，真空吸附和吹氣泄壓控制便捷等優(yōu)點。