一種可調(diào)節(jié)式石英研磨裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110093710.3 申請日 -
公開（公告）號 CN112894608A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112894608A 申請公布日 2021-06-04
分類號 B24B37/00;B24B37/34;B24B37/27;B24B57/02 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 蔡新域 申請（專利權(quán)）人 寧波云德半導體材料有限公司
代理機構(gòu) 杭州五洲普華專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 侯申飛
地址 315336 浙江省寧波市杭州灣新區(qū)華軒路161號數(shù)字經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)園28棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種可調(diào)節(jié)式石英研磨裝置，包括機身、機械臂、安裝在機身上的驅(qū)動裝置，驅(qū)動裝置與研磨盤相連，機械臂滑動安裝在機身的支撐架上，支撐架上設(shè)有噴淋管，機械臂包括滑座、立桿、壓力桿，滑座在支撐架上滑動一定距離后用鎖緊裝置固定，立桿上設(shè)有壓力調(diào)節(jié)旋鈕，立桿內(nèi)部設(shè)有壓力調(diào)節(jié)機構(gòu)和螺紋連接部，壓力調(diào)節(jié)機構(gòu)包括絲桿、齒輪，所述壓力調(diào)節(jié)旋鈕與齒輪相連，絲桿與螺紋連接部螺紋連接，絲桿底部設(shè)有壓力傳感器，所述壓力桿上端插入立桿內(nèi)且可在立桿內(nèi)部上下滑動，壓力桿上端和壓力傳感器之間設(shè)有彈簧，壓力桿下端安裝有夾爪。本發(fā)明具有研磨位置研磨量易調(diào)節(jié)，可自動添加研磨液，減少加工時間，提高產(chǎn)品的研磨效率和質(zhì)量等優(yōu)點。