一種IBC太陽能電池擴散和清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110579706.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113363350A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113363350A 申請公布日 2021-09-07
分類號 H01L31/18（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I;H01L31/068（2012.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李懋鴻;陳剛 申請（專利權(quán)）人 廣東愛旭科技有限公司
代理機構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 李素蘭;何鍵云
地址 322009浙江省金華市義烏市蘇溪鎮(zhèn)好派路655號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種IBC太陽能電池的擴散和清洗方法，包括：S1、將制絨后的硅片置入擴散設(shè)備，在硅片的背表面形成n+擴散層和PSG掩膜層；S2、對硅片的背表面進行激光消融；S3、采用堿性清洗液來清洗激光消融后的硅片，形成沿著硅片背表面凹陷的p區(qū)；S4、采用酸性清洗液來清洗硅片，去除PSG掩膜層。本發(fā)明的n+擴散層和PSG掩膜層采用同一臺設(shè)備形成，有效降低設(shè)備成本，同時減少更換設(shè)備的生產(chǎn)時間，在降低生產(chǎn)成本的同時提高了生產(chǎn)效率。