測量輔助裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822120434.1 申請日 -
公開（公告）號 CN209764018U 公開（公告）日 2019-12-10
申請公布號 CN209764018U 申請公布日 2019-12-10
分類號 G01B11/06（2006.01） 分類 測量；測試;
發(fā)明人 曾燕 申請（專利權）人 成都珠峰永明科技有限公司
代理機構 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 成都珠峰永明科技有限公司
地址 610200 四川省成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟開發(fā)區(qū)空港四路2002號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種測量輔助裝置，所述測量輔助裝置與用于測量大尺寸樣品的橢偏儀配合使用，所述測量輔助裝置包括基板和定位層，所述基板包括：基底層，所述基底層具有第一表面和第二表面；以及吸光層，所述吸光層具有第三表面和第四表面，其中，所述第四表面設置在所述第一表面上并與所述第一表面相對，所述定位層以可拆卸方式固定于所述吸光層上，其中，所述定位層的遠離所述吸光層的一側的表面被劃分成多個單元格以定位待測量的多個小尺寸樣品。