金屬TCO疊層薄膜及其制備方法和HIT太陽能電池

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910576098.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112234106A 公開（公告）日 2021-01-15
申請公布號 CN112234106A 申請公布日 2021-01-15
分類號 H01L31/0216(2014.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳孟杰 申請（專利權）人 成都珠峰永明科技有限公司
代理機構 北京華夏泰和知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 成都珠峰永明科技有限公司
地址 610200四川省成都市自由貿易試驗區(qū)成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟開發(fā)區(qū)空港四路2002號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開提供一種金屬TCO疊層薄膜，用于HIT太陽能電池，包括：TCO基底層，以及依次設置在TCO基底層上的非晶TCO浸潤層、金屬膜層和TCO面層；其中非晶TCO浸潤層的厚度小于等于10nm，金屬膜層的厚度大于等于1nm且小于等于30nm，金屬TCO疊層薄膜的總厚度小于等于150nm，通過提供包括非晶TCO浸潤層、使金屬膜層的在較薄厚度情況下連續(xù)生長，降低了金屬膜層的粗糙度，使TCO面層、金屬膜層和非晶TCO浸潤層之間由于高折射率對比導致表面等離子體激元高效耦合，形成表面等離子體產(chǎn)生共振效應，降低了TCO面層、非晶TCO浸潤層和TCO基底層對光的散射和對光子的吸收，進而提高了金屬TCO疊層薄膜的光譜透過率，提高了HIT電池的電學性能。??