硅異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池的制備方法及其太陽(yáng)能電池
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910459529.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112018217A | 公開（公告）日 | 2020-12-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112018217A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-01 |
| 分類號(hào) | H01L31/20(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 楊苗 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 成都珠峰永明科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京華夏泰和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 張麗穎 |
| 地址 | 101102 北京市通州區(qū)中關(guān)村科技園區(qū)通州園金橋科技產(chǎn)業(yè)基地環(huán)科中路17號(hào)26幢1至3層102-LQ307 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明實(shí)施例提供一種硅異質(zhì)結(jié)太陽(yáng)能電池的制備方法，包括：提供硅片到反應(yīng)器腔室中；提供包含氧的第一氣體到所述反應(yīng)器腔室中，用于將含氧的所述第一氣體分子附著到反應(yīng)器腔室內(nèi)壁上；對(duì)所述反應(yīng)器腔室進(jìn)行抽真空至氣壓小于0.1Pa；提供包含硅和氫的第二氣體到所述反應(yīng)器腔室中；以及依次將含有氫氧的硅化合物沉積到所述硅片的表面后將含有氫硅的化合物沉積到所述硅片的表面，形成氧含量梯度減少的鈍化膜層，從而在硅異質(zhì)節(jié)太陽(yáng)能電池片上形成氧含量在靠近硅片表面的一側(cè)向遠(yuǎn)離硅片表面的一側(cè)逐漸減少的鈍化膜層，使鈍化膜層中的氧含量呈梯度分布，使電池性能得到了優(yōu)化，提升了電池的光電轉(zhuǎn)換效率和電池的穩(wěn)定性。?? |
