太陽能電池用鈍化層的制備方法以及太陽能電池的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811611044.2 申請日 -
公開（公告）號 CN111403492A 公開（公告）日 2020-07-10
申請公布號 CN111403492A 申請公布日 2020-07-10
分類號 H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊苗 申請（專利權(quán)）人 成都珠峰永明科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 成都珠峰永明科技有限公司
地址 610200四川省中國（四川）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)成都市雙流區(qū)西南航空港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)空港四路2002號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種太陽能電池用鈍化層的制備方法以及太陽能電池的制備方法。鈍化層的制備方法包括將襯底置于化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室內(nèi)，向所述反應(yīng)室內(nèi)通入工藝氣體，條件是不進(jìn)行所述工藝工體的排出操作，以及在所述襯底的至少一個(gè)表面上沉積所述鈍化層。所述制備方法在形成鈍化膜層的過程中不進(jìn)行排氣操作，因此通入的工藝氣體會(huì)被不斷消耗，因此成膜速度自然形成從快到慢的漸變，因此很自然的實(shí)現(xiàn)了本征鈍化膜層的漸變。??