雙色紅外探測器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110672789.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113410329A 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN113410329A 申請公布日 2021-09-17
分類號 H01L31/101（2006.01）I;H01L31/109（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃勇 申請（專利權）人 蘇州晶歌半導體有限公司
代理機構 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 代理人 孫偉峰;武岑飛
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城20號樓3層300-44工位（集群登記）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 提供了一種雙色紅外探測器，其包括襯底、中波通道接觸層、中波通道吸收層、中波通道勢壘層、中波連接層、長波通道吸收層、長波通道勢壘層、長波通道接觸層、第一電極以及第二電極；中波通道接觸層、中波通道吸收層、中波通道勢壘層、中波連接層、長波通道吸收層、長波通道勢壘層以及長波通道接觸層依序層疊設置于襯底上，第一電極與中波通道接觸層接觸，第二電極設置于長波通道接觸層上。還提供了一種雙色紅外探測器的制作方法。在本發(fā)明的雙色紅外探測器及其制作方法中，采用了非對稱的結構，即使長波通道吸收層和中波連接層居中，中波通道吸收層和長波通道勢壘層居于兩側，每個波段均采用最佳的異質結結構，保證了長波和中波波段的性能最佳。