一種真空鍍膜機(jī)行星式工件架

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310178241.0 申請日 -
公開（公告）號 CN103290382B 公開（公告）日 2015-09-09
申請公布號 CN103290382B 申請公布日 2015-09-09
分類號 C23C14/50(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周小平;楊慶忠 申請（專利權(quán)）人 寧波韻升機(jī)電設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 寧波天一專利代理有限公司 代理人 徐良江
地址 315040 浙江省寧波市高新區(qū)揚(yáng)帆路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種真空鍍膜機(jī)行星式工件架，包括動力輸入機(jī)構(gòu)、工件架外支架、轉(zhuǎn)籠行星架、轉(zhuǎn)籠驅(qū)動部件、容納工件的轉(zhuǎn)籠、傳動鏈輪和動力傳遞鏈條，轉(zhuǎn)籠行星架一端由固定在工件架外支架上的旋轉(zhuǎn)體支撐，轉(zhuǎn)籠行星架另一端旋轉(zhuǎn)中心由固定在工件架外支架上的旋轉(zhuǎn)軸承支撐，轉(zhuǎn)籠行星架至少安裝三組以上的轉(zhuǎn)籠驅(qū)動部件，每只轉(zhuǎn)籠驅(qū)動部件裝有轉(zhuǎn)籠鏈輪，動力傳遞鏈條與多個轉(zhuǎn)籠驅(qū)動部件的轉(zhuǎn)籠鏈輪嚙合的同時與固定在工件架外支架上的鏈輪嚙合，所述動力輸入機(jī)構(gòu)驅(qū)動轉(zhuǎn)籠行星架轉(zhuǎn)動。本發(fā)明能有效提高鍍膜機(jī)中工作效率和工件鍍層質(zhì)量，減少工件相互劃傷和碰傷的概率，有效地滿足臥式多靶真空濺射或離子鍍膜機(jī)施鍍時的各種工藝要求。