一種真空鍍膜機行星式工件架

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310178241.0 申請日 -
公開（公告）號 CN103290382A 公開（公告）日 2013-09-11
申請公布號 CN103290382A 申請公布日 2013-09-11
分類號 C23C14/50(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 周小平;楊慶忠 申請（專利權）人 寧波韻升機電設備有限公司
代理機構 寧波天一專利代理有限公司 代理人 徐良江
地址 315040 浙江省寧波市高新區(qū)揚帆路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種真空鍍膜機行星式工件架，包括動力輸入機構、工件架外支架、轉籠行星架、轉籠驅動部件、容納工件的轉籠、傳動鏈輪和動力傳遞鏈條，轉籠行星架一端由固定在工件架外支架上的旋轉體支撐，轉籠行星架另一端旋轉中心由固定在工件架外支架上的旋轉軸承支撐，轉籠行星架至少安裝三組以上的轉籠驅動部件，每只轉籠驅動部件裝有轉籠鏈輪，動力傳遞鏈條與多個轉籠驅動部件的轉籠鏈輪嚙合的同時與固定在工件架外支架上的鏈輪嚙合，所述動力輸入機構驅動轉籠行星架轉動。本發(fā)明能有效提高鍍膜機中工作效率和工件鍍層質量，減少工件相互劃傷和碰傷的概率，有效地滿足臥式多靶真空濺射或離子鍍膜機施鍍時的各種工藝要求。