一種微陣列結(jié)構(gòu)圖案化的工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010682176.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113213419A 公開（公告）日 2021-08-06
申請公布號 CN113213419A 申請公布日 2021-08-06
分類號 B81C1/00（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 高宏軍;陳芳芳;陳玉平;高明;王布強 申請（專利權(quán)）人 江蘇力博醫(yī)藥生物技術(shù)股份有限公司
代理機構(gòu) 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 廖慧敏
地址 214400江蘇省無錫市江陰市東盛西路78號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種微陣列結(jié)構(gòu)圖案化的工藝，本發(fā)明包括步驟一、獲得氣態(tài)介質(zhì)；步驟二、將氣態(tài)介質(zhì)通入到放置有基底的冷凝環(huán)境中，控制冷凝環(huán)境溫度、壓力，并控制基底的溫度，使氣態(tài)介質(zhì)在基底表面凝結(jié)形成微珠；步驟三、對冷凝環(huán)境的壓力、溫度和濕度進行調(diào)節(jié)進而控制微珠大小，形成所需大小的微珠；步驟四、使冷凝的微珠冷卻凝固制成固態(tài)微珠，在基底上獲得固態(tài)微珠的微陣列；步驟五、將樹脂注入具有微陣列的基底表面，使樹脂與固態(tài)微珠表面貼合，當樹脂覆蓋基底表面的微陣列且流平后，使樹脂固化，形成穩(wěn)定結(jié)構(gòu)；步驟六、去除穩(wěn)定結(jié)構(gòu)上的介質(zhì)后即獲得圖案化的微陣列結(jié)構(gòu)。本發(fā)明具有工藝簡單、成本低廉等優(yōu)點。