一種簡易高效的植球裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022611396.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214672506U 公開（公告）日 2021-11-09
申請公布號 CN214672506U 申請公布日 2021-11-09
分類號 H01L21/48（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊東升;師建行;尹庭輝;劉思怡;沈國策 申請（專利權(quán)）人 南京國博電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京君陶專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 嚴(yán)海晨
地址 210016江蘇省南京市江寧區(qū)秣陵街道正方中路166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種簡易高效的植球裝置，包括真空吸附平臺及網(wǎng)板，真空吸附平臺有兩路獨立的真空，分別對待植球芯片及網(wǎng)板進(jìn)行真空吸附固定；網(wǎng)板通過硅片或玻璃制作，網(wǎng)板上表面通過腐蝕形成腔體，中部通過腐蝕或激光切割形成與待植球芯片對應(yīng)的通孔。植球時，先通過一路真空管路吸附待植球芯片，另一路真空管路吸附助焊劑印刷網(wǎng)板，然后印刷助焊劑，接著取下網(wǎng)板；接著通過另一路真空管路吸附植球網(wǎng)板進(jìn)行植球后垂直取下植球網(wǎng)板，然后將已植球芯片放入爐中回流即可。優(yōu)點：該裝置制造周期短、加工成本低、使用簡易方便，便于不同產(chǎn)品間的簡便切換。通過硅片做網(wǎng)板解決了傳統(tǒng)鋼網(wǎng)存在的翹曲，實現(xiàn)超小球的高精度、高效率植球工藝。