一種可變電極晶體生長爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201511016111.2 申請日 -
公開（公告）號 CN105483821B 公開（公告）日 2018-05-08
申請公布號 CN105483821B 申請公布日 2018-05-08
分類號 C30B17/00;C30B29/20 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 那木吉拉圖;夏航;楊明遠 申請（專利權(quán)）人 蘭州四聯(lián)光電科技有限公司
代理機構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 蘭州四聯(lián)光電科技有限公司
地址 730000 甘肅省蘭州市蘭州新區(qū)經(jīng)十三路以西、支路以東、緯八路以南、緯六路以北
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種可變電極晶體生長爐，包括：爐筒，頂部具有爐筒口；大蓋，固定在所述爐筒口上，所述大蓋具有大蓋口；小蓋，緊固在所述大蓋口上；爐體電極，位于所述爐筒中且固定在所述大蓋上，所述爐筒、大蓋、小蓋以及爐體電極中均設(shè)置有循環(huán)水通道。所述爐體電極包括一爐體整圓環(huán)電極和兩個爐體半圓環(huán)電極，所述可變電極晶體生長爐還包括加熱棒電極和加熱棒。加熱棒半圓環(huán)電極上均布分布所述加熱棒，加熱棒穿過但不接觸本側(cè)加熱棒半圓環(huán)電極下絕緣材料、加熱棒整圓環(huán)電極，彎折回對側(cè)加熱棒半圓環(huán)電極下方的加熱棒整圓環(huán)電極上。本發(fā)明通過爐體、大蓋、小蓋以及爐體電極之間的安裝連接，使整個晶體生長爐實現(xiàn)密封狀態(tài)，為生長爐中溫場的穩(wěn)定提供保障。