一種可變電極晶體生長(zhǎng)爐

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201521126659.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN205556851U 公開（公告）日 2016-09-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN205556851U 申請(qǐng)公布日 2016-09-07
分類號(hào) C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 那木吉拉圖;夏航;楊明遠(yuǎn) 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘭州四聯(lián)光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所 代理人 蘭州四聯(lián)光電科技有限公司
地址 730000 甘肅省蘭州市蘭州新區(qū)經(jīng)十三路以西、支路以東、緯八路以南、緯六路以北
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種可變電極晶體生長(zhǎng)爐，包括：爐筒，頂部具有爐筒口；大蓋，固定在所述爐筒口上，所述大蓋具有大蓋口；小蓋，緊固在所述大蓋口上；爐體電極，位于所述爐筒中且固定在所述大蓋上，所述爐筒、大蓋、小蓋以及爐體電極中均設(shè)置有循環(huán)水通道。所述爐體電極包括一爐體整圓環(huán)電極和兩個(gè)爐體半圓環(huán)電極，所述可變電極晶體生長(zhǎng)爐還包括加熱棒電極和加熱棒。加熱棒半圓環(huán)電極上均布分布所述加熱棒，加熱棒穿過(guò)但不接觸本側(cè)加熱棒半圓環(huán)電極下絕緣材料、加熱棒整圓環(huán)電極，彎折回對(duì)側(cè)加熱棒半圓環(huán)電極下方的加熱棒整圓環(huán)電極上。本實(shí)用新型通過(guò)爐體、大蓋、小蓋以及爐體電極之間的安裝連接，使整個(gè)晶體生長(zhǎng)爐實(shí)現(xiàn)密封狀態(tài)，為生長(zhǎng)爐中溫場(chǎng)的穩(wěn)定提供保障。