液晶顯示裝置陣列基板的制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200710047726.0 申請日 -
公開（公告）號 CN101424837B 公開（公告）日 2010-08-25
申請公布號 CN101424837B 申請公布日 2010-08-25
分類號 G02F1/1362(2006.01)I;G02F1/133(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;G03F1/00(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 李小和 申請（專利權(quán)）人 上海廣電光電顯示器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海智信專利代理有限公司 代理人 薛琦
地址 201108 上海市華寧路3388號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種液晶顯示裝置的制造方法，其包括以下步驟：在潔凈的玻璃表面上濺射并形成第一金屬層圖形；在形成第一金屬層圖形的基礎(chǔ)上淀積絕緣膜和有源層；濺射并形成第二金屬層圖形；通過利用掩膜板進(jìn)行曝光、顯影后形成第一金屬層圖形的接觸孔；刻蝕接觸孔直到接觸孔處的第一金屬層圖形暴露出來；濺射并形成氧化物導(dǎo)電層圖形；在氧化物導(dǎo)電層圖形上淀積絕緣膜；最后剝離絕緣膜使氧化物導(dǎo)電層暴露出來。采用本發(fā)明液晶顯示裝置的制造方法可提高接觸孔的導(dǎo)通能力，減小原有的接觸孔數(shù)目，提高像素信號的輸入能力。