一種可控加熱除霜電容式高空濕度傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210551816.4 申請日 -
公開（公告）號 CN103018288A 公開（公告）日 2013-04-03
申請公布號 CN103018288A 申請公布日 2013-04-03
分類號 G01N27/22(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 施云波;羅毅;趙文杰;馮僑華 申請（專利權）人 通普信息技術股份有限公司
代理機構 哈爾濱市松花江專利商標事務所 代理人 哈爾濱理工大學;云南師范大學
地址 150080 黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)學府路52號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種可控加熱除霜電容式高空濕度傳感器及其制備方法，涉及高空濕度傳感器及其制備方法的領域。本發(fā)明是要解決現(xiàn)有的濕度傳感器由于高空環(huán)境下溫度過低，使得傳感器表面出現(xiàn)結(jié)霜現(xiàn)象，嚴重影響濕度數(shù)據(jù)采集的問題。一種可控加熱除霜電容式高空濕度傳感器，其特征在于：它是由基底、第一絕緣層、第一溫度傳感器焊盤、第二溫度傳感器焊盤、第一加熱器焊盤、第二加熱器焊盤、溫度傳感器電極、加熱器電極、第二絕緣層、下電極、感濕層、多孔上電極和凹槽組成。制備方法：采用光刻剝離、磁控射頻濺射、腐蝕鏤空、勻膠處理和蒸發(fā)鍍膜的方法制備可控加熱除霜電容式高空濕度傳感器。本發(fā)明適用于氣候和氣象領域。