一種可控加熱除霜電容式高空濕度傳感器的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210551816.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103018288B 公開(kāi)（公告）日 2014-11-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN103018288B 申請(qǐng)公布日 2014-11-12
分類(lèi)號(hào) G01N27/22(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 施云波;羅毅;趙文杰;馮僑華 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 通普信息技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 哈爾濱市松花江專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 哈爾濱理工大學(xué);云南師范大學(xué)
地址 150080 黑龍江省哈爾濱市學(xué)府路52號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種可控加熱除霜電容式高空濕度傳感器的制備方法，涉及高空濕度傳感器及其制備方法的領(lǐng)域。本發(fā)明是要解決現(xiàn)有的濕度傳感器由于高空環(huán)境下溫度過(guò)低，使得傳感器表面出現(xiàn)結(jié)霜現(xiàn)象，嚴(yán)重影響濕度數(shù)據(jù)采集的問(wèn)題。一種可控加熱除霜電容式高空濕度傳感器，其特征在于：它是由基底、第一絕緣層、第一溫度傳感器焊盤(pán)、第二溫度傳感器焊盤(pán)、第一加熱器焊盤(pán)、第二加熱器焊盤(pán)、溫度傳感器電極、加熱器電極、第二絕緣層、下電極、感濕層、多孔上電極和凹槽組成。制備方法：采用光刻剝離、磁控射頻濺射、腐蝕鏤空、勻膠處理和蒸發(fā)鍍膜的方法制備可控加熱除霜電容式高空濕度傳感器。本發(fā)明適用于氣候和氣象領(lǐng)域。