一種泡生法藍寶石長晶設(shè)備的自動氬氣充填工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410722225.8 申請日 -
公開（公告）號 CN104480528B 公開（公告）日 2017-02-01
申請公布號 CN104480528B 申請公布日 2017-02-01
分類號 C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 劉瑜;陳曉玲 申請（專利權(quán)）人 寧波晶工晶體科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 315300 浙江省寧波市慈溪市坎墩街道大昌南路398號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開了一種泡生法藍寶石長晶設(shè)備的自動氬氣充填工藝，該氬氣充填工藝程序包括：關(guān)閉高真空閥后關(guān)閉擴散泵，若真空度1小時后高于10?2Pa，開啟高真空閥，保持24小時后，關(guān)閉高真空閥，開始填充氬氣至真空度為10Pa，保持6小時后繼續(xù)填充氬氣至真空度為1000Pa，保持6小時后即可打開長晶設(shè)備；若真空度1小時后低于10?2Pa時，開始填充氬氣至真空度為9x10?1Pa后停止；保持12小時后，繼續(xù)填充氬氣至真空度為100Pa后停止；保持12小時后，繼續(xù)填充氬氣至真空度為1000Pa；保持六小時后填充氬氣至大氣壓后打開長晶設(shè)備。利用本發(fā)明能減少晶體在后退火過程中的開裂，將后退火時間縮短12小時，提高了生產(chǎn)效率。