一種泡生法藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備的冷卻水壓力閉環(huán)控制系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410672609.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104328486B 公開（公告）日 2016-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN104328486B 申請(qǐng)公布日 2016-10-19
分類號(hào) C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 劉瑜;陳曉玲 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 寧波晶工晶體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 315300 浙江省寧波市慈溪市坎墩街道大昌南路398號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 公開了一種泡生法藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備的冷卻水壓力閉環(huán)控制系統(tǒng)，該裝置包括壓力傳感器、電子流量閥、PLC控制器，其中，壓力傳感器，電子流量閥與PLC控制器通過(guò)信號(hào)線連接和通信，壓力傳感器安裝在冷卻出水口位置，電子流量閥安裝在冷卻進(jìn)水口。出水壓力變化通過(guò)壓力傳感器傳輸給PLC控制器，PLC控制器調(diào)節(jié)電子流量閥就能使水壓自動(dòng)保持在所需壓力的±0.01兆帕度，從而形成冷卻水壓力的閉環(huán)控制。利用本專利能在使泡生法藍(lán)寶石長(zhǎng)晶設(shè)備冷卻水系統(tǒng)進(jìn)出水壓力變化控制在0.01兆帕以內(nèi)，減少了水壓波動(dòng)對(duì)晶體生長(zhǎng)過(guò)程的影響，提高了晶體生長(zhǎng)的質(zhì)量。