一種多晶硅生產(chǎn)尾氣中氯硅烷的回收系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201721747593.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN207792717U 公開(kāi)（公告）日 2018-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN207792717U 申請(qǐng)公布日 2018-08-31
分類號(hào) C01B33/107 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 楊刊;馮鞏;孟昱良 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河北東明中硅科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京德崇智捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 河北東明中硅科技有限公司
地址 052360 河北省石家莊市辛集市工業(yè)路南段東側(cè)制革區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多晶硅生產(chǎn)尾氣中氯硅烷的回收系統(tǒng)，包括廢氣緩沖罐、變壓吸附系統(tǒng)、熱源、冷凝器和廢氣淋洗塔；其中變壓吸附系統(tǒng)包括氣體壓縮機(jī)、活性炭吸附器以及第一過(guò)濾器、第二過(guò)濾器和第三過(guò)濾器；所述活性炭吸附器包括三個(gè)并列設(shè)置的活性炭吸附器A、活性炭吸附器B和活性炭吸附器C。本實(shí)用新型通過(guò)三個(gè)活性炭吸附器的交替循環(huán)，能實(shí)現(xiàn)對(duì)多晶硅生產(chǎn)尾氣的24小時(shí)不間斷回收處理，大大提高尾氣處理效率及整個(gè)工廠的多晶硅生產(chǎn)的速率。