一種多晶硅生產(chǎn)還原爐用電極組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721748399.7 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN207793474U 公開（公告）日 2018-08-31
申請公布號(hào) CN207793474U 申請公布日 2018-08-31
分類號(hào) C30B29/06;C01B33/021 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 楊刊;郝福濤;孟昱良 申請（專利權(quán)）人 河北東明中硅科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京德崇智捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 河北東明中硅科技有限公司
地址 052360 河北省石家莊市辛集市工業(yè)路南段東側(cè)制革區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種多晶硅生產(chǎn)還原爐用電極組件，包括設(shè)置于還原爐底盤上的絕緣支撐組件，卡接于所述絕緣支撐組件上的電極，設(shè)置于所述電極頂部的石墨底座，固定設(shè)置于所述石墨底座上的石墨卡瓣和控制所述石墨卡瓣開合的石墨卡套；所述絕緣支撐組件包括卡接于所述還原爐底盤上的階梯狀絕緣支撐件，設(shè)置于所述階梯狀絕緣支撐件內(nèi)并套設(shè)于所述電極外的石英套筒，套設(shè)于所述石英套筒外并與所述還原爐底盤抵接、密封的上石英座，套設(shè)于所述階梯狀絕緣支撐件下部的下石英座，設(shè)置于所述下石英座底部的墊片和卡設(shè)于所述電極外的環(huán)形卡件。本實(shí)用新型電極組件能提高電極與還原爐底盤之間的絕緣性，減少倒?fàn)t現(xiàn)象。