一種多晶硅生產(chǎn)還原爐用電極組件
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201721748399.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN207793474U | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-08-31 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN207793474U | 申請(qǐng)公布日 | 2018-08-31 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B29/06;C01B33/021 | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 楊刊;郝福濤;孟昱良 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 河北東明中硅科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京德崇智捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 河北東明中硅科技有限公司 |
| 地址 | 052360 河北省石家莊市辛集市工業(yè)路南段東側(cè)制革區(qū)內(nèi) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多晶硅生產(chǎn)還原爐用電極組件，包括設(shè)置于還原爐底盤(pán)上的絕緣支撐組件，卡接于所述絕緣支撐組件上的電極，設(shè)置于所述電極頂部的石墨底座，固定設(shè)置于所述石墨底座上的石墨卡瓣和控制所述石墨卡瓣開(kāi)合的石墨卡套；所述絕緣支撐組件包括卡接于所述還原爐底盤(pán)上的階梯狀絕緣支撐件，設(shè)置于所述階梯狀絕緣支撐件內(nèi)并套設(shè)于所述電極外的石英套筒，套設(shè)于所述石英套筒外并與所述還原爐底盤(pán)抵接、密封的上石英座，套設(shè)于所述階梯狀絕緣支撐件下部的下石英座，設(shè)置于所述下石英座底部的墊片和卡設(shè)于所述電極外的環(huán)形卡件。本實(shí)用新型電極組件能提高電極與還原爐底盤(pán)之間的絕緣性，減少倒?fàn)t現(xiàn)象。 |
