一種四氯化硅熱氫化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110213550.8 申請日 -
公開（公告）號 CN102408113B 公開（公告）日 2013-04-24
申請公布號 CN102408113B 申請公布日 2013-04-24
分類號 C01B33/107(2006.01)I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 段沙沙;陳駿;孟昱良 申請（專利權(quán)）人 河北東明中硅科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 石家莊國為知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 代理人 河北東明中硅科技有限公司
地址 052360 河北省石家莊市辛集市工業(yè)路南段東側(cè)制革區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種四氯化硅熱氫化方法，將四氯化硅和氫氣的混合氣體輸送至還原爐內(nèi)，在硅芯表面發(fā)生反應(yīng)，制得的固體硅沉積在硅芯表面，反應(yīng)后的混合氣體通過鼓泡淋洗、加壓冷凝、吸收脫吸、活性炭吸附，最終得到液態(tài)的三氯氫硅。本發(fā)明既生成了多晶硅又生成了生產(chǎn)多晶硅的原料三氯氫硅，從而實(shí)現(xiàn)了四氯化硅的回收再利用，三氯氫硅的實(shí)收率達(dá)到23%以上。本發(fā)明不用額外的熱氫化設(shè)備，在多晶硅生產(chǎn)設(shè)備的基礎(chǔ)上增加汽化器，并入生產(chǎn)多晶硅裝置內(nèi)實(shí)現(xiàn)閉路循環(huán)，降低了成本。