一種多晶硅還原爐爐筒清洗方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110213570.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN102357493B 公開(kāi)（公告）日 2013-04-24
申請(qǐng)公布號(hào) CN102357493B 申請(qǐng)公布日 2013-04-24
分類(lèi)號(hào) B08B9/08(2006.01)I 分類(lèi) 清潔;
發(fā)明人 馮謹(jǐn);陳駿;楊刊 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 河北東明中硅科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 石家莊國(guó)為知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所 代理人 河北東明中硅科技有限公司
地址 052360 河北省石家莊市辛集市工業(yè)路南段東側(cè)制革區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種多晶硅還原爐爐筒清洗方法，包括下述步驟：（1）拆開(kāi)多晶硅還原爐的視鏡；（2）用去離子水對(duì)還原爐爐筒內(nèi)壁進(jìn)行沖洗；（3）用滌綸無(wú)紡布蘸取質(zhì)量分?jǐn)?shù)為5%-10%的氟化氫銨溶液對(duì)爐筒內(nèi)壁進(jìn)行擦拭，讓其溶液在內(nèi)壁停滯10-15min；（4）用去離子水對(duì)還原爐爐筒內(nèi)壁進(jìn)行沖洗；（5）再次用滌綸無(wú)紡布蘸取質(zhì)量分?jǐn)?shù)為2%-4%的氟化氫銨溶液對(duì)爐筒內(nèi)壁進(jìn)行擦拭，讓其溶液在爐筒內(nèi)壁停滯10-15min；（6）用去離子水爐筒內(nèi)壁進(jìn)行沖洗，并用氮?dú)獯蹈?；?）用無(wú)水乙醇擦拭爐筒內(nèi)壁，待到乙醇揮發(fā)完全后，用干燥的滌綸無(wú)紡布再擦拭一遍。本發(fā)明的方法具有簡(jiǎn)單可行、清洗效率高等優(yōu)點(diǎn)。