一種制備多晶硅的還原系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201721747589.7 申請日 -
公開（公告）號 CN207671692U 公開（公告）日 2018-07-31
申請公布號 CN207671692U 申請公布日 2018-07-31
分類號 C01B33/03 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 馮謹(jǐn);楊刊;郝福濤 申請（專利權(quán)）人 河北東明中硅科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京德崇智捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 河北東明中硅科技有限公司
地址 050000 河北省石家莊市辛集市工業(yè)路南段東側(cè)制革區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種制備多晶硅的還原系統(tǒng)，包括底座，原料供應(yīng)系統(tǒng)，原料混配裝置和還原爐；原料供應(yīng)系統(tǒng)包括氫氣儲罐和三氯氫硅儲罐，原料混配裝置包括換熱箱，氣壓平衡箱，氣體混合器和氣體配比裝置；換熱箱包括換熱箱體和換熱箱蓋；氣壓平衡箱包括平衡箱體，平衡箱蓋，隔板和若干連接柱；氣體混合器包括混合器殼體和混合葉片；氣體配比裝置包括調(diào)節(jié)桿、控制齒輪、氫氣流量控制板、三氯氫硅流量控制板和直齒條；還原爐的爐壁上設(shè)有冷媒進(jìn)管，冷媒出管和溫度計。本實用新型實現(xiàn)對混合氣體的快速、精確的摩爾配比控制及調(diào)節(jié)，同時充分利用無定型硅的特性，在還原爐內(nèi)壁附著一層無定型硅，起到保溫的作用，大大降低了整個生產(chǎn)過程中的能耗。