一種非對(duì)稱雙線壓片輪及壓片機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121291457.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN215869302U 公開(kāi)（公告）日 2022-02-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN215869302U 申請(qǐng)公布日 2022-02-18
分類號(hào) H01L21/67（2006.01）I;H01L21/78（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張韶軒;郭靖;李坤;張毓盛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東莞安晟半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳國(guó)海智峰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王慶海;劉軍鋒
地址 510700廣東省廣州市黃埔區(qū)科學(xué)大道18號(hào)A棟410房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及晶圓壓片技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種非對(duì)稱雙線壓片輪，包括壓片輪主體及兩個(gè)壓力輪線，兩個(gè)所述壓力輪線沿著所述壓片輪主體的表面固定設(shè)置，兩個(gè)所述壓力輪線的中心線偏移所述壓片輪主體的中心位置，且所述壓片輪主體靠近壓力輪線中心線一側(cè)的重量大于遠(yuǎn)離壓力輪線中心線一側(cè)的重量。以此將壓力輪線的中心線偏移壓片輪主體的中心位置以形成非對(duì)稱的結(jié)構(gòu)，在壓片輪中心位置不改變的情況下可以對(duì)非對(duì)稱結(jié)構(gòu)的晶圓芯片進(jìn)行壓片，并通過(guò)對(duì)壓片輪主體兩側(cè)的重量調(diào)整以使壓力輪線輸出壓力相同，保障了壓片質(zhì)量。