一種晶圓貼合防摔治具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121282516.1 申請日 -
公開（公告）號 CN213816091U 公開（公告）日 2021-07-27
申請公布號 CN213816091U 申請公布日 2021-07-27
分類號 H01L21/67（2006.01） 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李坤;郭靖;張毓盛;譚春春;張韶軒 申請（專利權(quán)）人 東莞安晟半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳國海智峰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王慶海;劉軍鋒
地址 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)科學(xué)大道18號A棟410房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及晶圓貼合技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓貼合防摔治具，包括晶圓固定件和旋轉(zhuǎn)固定架，所述晶圓固定件固定在所述旋轉(zhuǎn)固定架上，所述晶圓固定件包括固定件本體、防摔落擋桿及箍環(huán)，所述固定件本體的中部開設(shè)有容置槽，所述容置槽的槽壁處設(shè)有卡緣，所述箍環(huán)卡接在所述卡緣上，所述防摔落擋桿轉(zhuǎn)動連接在所述固定件本體上并在所述容置槽的槽口位置上活動。以此箍環(huán)將藍(lán)膜固定住，晶圓貼合在藍(lán)膜上，移動防摔落擋桿使其阻擋晶圓在藍(lán)膜上脫落，再通過旋轉(zhuǎn)固定架調(diào)節(jié)驅(qū)趕晶圓與藍(lán)膜之間氣泡的位置方向，確保驅(qū)趕氣泡時(shí)晶圓的位置高度及角度不發(fā)生改變，可以有效防止晶圓摔落，確保晶圓貼合藍(lán)膜過程順利進(jìn)行。